MOVPE es el desafío más crítico en términos de gestión de gases de escape. La combinación de caudales del orden de litros por minuto de AsH3 y PH3, el predominio del hidrógeno y la alta deposición de fósforo blanco autoinflamable en las líneas de efluentes no es superada por ningún otro proceso utilizado en fábricas de semiconductores de silicio o compuestos
Características y ventajas
El reto especial que representa la aplicación de MOVPE se refleja en varias características exclusivas de la línea de productos absorbentes en lecho seco "CLEANSORB" de CS CLEAN SYSTEMS:
Todas las conexiones de gas están dentro de un módulo con extracción de aire
Todas las tuberías son de acero inoxidable
El sistema sigue funcionando durante cortes de energía
Detector de gas de referencia
Monitor de temperatura de matriz IR
Reoxidación (pasivación) de la columna absorbente
Miniabsorbente de derivación
Válvula de derivación automática
Enfriamiento forzado por columna de N2 ante sobrecalentamiento
Válvulas de entrada y salida que aíslan del proceso
Todas las conexiones de gas están dentro de un módulo con extracción de aire
Todas las tuberías son de acero inoxidable
El sistema sigue funcionando durante cortes de energía
Detector de gas de referencia
Monitor de temperatura de matriz IR
Reoxidación (pasivación) de la columna absorbente
Miniabsorbente de derivación
Válvula de derivación automática
Enfriamiento forzado por columna de N2 ante sobrecalentamiento
Válvulas de entrada y salida que aíslan del proceso
Fuente: http://www.cscleansystems.com/applications_movpe.html?setlang=es-es&PHPSESSID=99c3abb1ccfb1a89f3142df0ceb5c17c
Nombre Franklin Quintero
Asignatura EES
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